集成电路装备

所属分类： 行业应用

发布时间：2026-03-30

IG320系列低温泵应用于离子注入机

 

在集成电路制造的核心工艺——离子注入工序中，对真空环境的稳定性和洁净度有着严苛要求。本图示展示了IG系列低温泵在该行业的典型应用。特别值得关注的是：IG320系列低温泵，凭借其卓越的抽气性能与高可靠性，已成功应用于离子注入机。该系列产品能够有效捕获水汽、氢气等残余气体，为离子束的稳定传输提供超高真空环境，从而显著提升晶圆注入的均匀性与良品率。

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