氦气压缩机是低温制冷机、低温真空泵的重要组成部分。氦压缩机的作用是为制冷机
冷头(膨胀机)提供必要的高低压力循环。其内部一般充有99.995%的高纯氦气。
它与制冷机冷头通过金属软管连接,组成一个完整的制冷机系统。 博开公司
目前标准型氦压缩机已有HC50W,HC80W,HC100W,HC160W四种型号。
其中,HC160W是专门针对半导体行业推出的,可以实现一拖十一台低温泵。
博开HC系列氦压缩机主要参数
型号
HC50W
HC80W
HC100W
HC160W
外形尺寸
515LX583WX590H
697L×515W×1205H
电源要求
380V,3φ,50Hz
220V±20V,50Hz
输入功率
4KW
6KW
7KW
14KW
工作环境温度
10℃~35℃
10℃~38℃
冷却水温度
5℃~28℃
5℃~30℃
冷却方式
水冷
冷却水流量
≥5L/Min@23℃
≥7L/Min@23℃
≥8L/Min@23℃
≥10L/min@23℃
静压
1.5±0.05MPa
1.55±0.05Mpa
1.55±0.05Mpa
1.6±0.1Mpa
噪声
50~57db@3m
55~60db@3m
63~68db@3m
吸附器更换周期
18000H
15000H