低温真空泵是利用10K（-263℃）低温制冷机作为冷源，通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备，
公司低温泵目前分为两个系列，分别为IG系列以及DZB系列
低温真空泵优势
1）极限真空度高。
2）运行成本低。
3）大抽速。
4）安全方便。
5）真正洁净。
6）长寿命。
DZB系列低温泵的特点：
1）积聚式真空泵，工作时无需前级泵。
2）需要再生。
3）对不同的气体具有不同的抽速和抽气容量。
DZB系列低温泵产品主要规格：
IG系列是为高端真空装备配备的全自动智能性低温泵，标准规格包括：IG200~IG1800，
通用型参数参考DZB系列。
主要特点：
1）具有快速再生功能
2）具有完全再生功能
3）自动检测低温泵真空度
4）内部加热及充氮气全自动再生系统
5）外置充氮气装置
6）配置可接尾气处理装置的安全阀
7）智能的“自适应”技术
- 自动低温热载荷补偿
- 变频电机系统
8）更低的购置成本
- 每台压缩机可支持更多的泵
- 在产能没有任何改变的情况下更节能
- 变速电机可最大程度地延长泵的使用寿命
9）可实现本地或远程操作
10）配备操作手柄，可实现故障查询及修改参数
Xe15000型低温泵是专为航天环境模拟器抽Xe所配备的低温泵，其主要指标见PDF
