低温真空泵是利用10K(-263℃)低温制冷机作为冷源,通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备,
低温真空泵广泛应用于:
1)半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程;
2)光学镜片镀膜;
3)磁控溅射镀膜生产线;
4)空间环境模拟;
5)真空排气台等。
低温真空泵主要特点:
1)低温真空泵是吸附式真空泵,工作时无需前级泵;
2)低温真空泵需要再生;
3)低温真空泵对不同气体具有不同的抽速和抽气容量。
低温真空泵的主要优点:
1)高极限真空度。基本型可达10-6Pa真空度,特殊要求时可达10-7Pa以上;
2)大抽速。对空气尤其是对水蒸汽具有超高的抽速,其它真空泵不可比拟;
3)真正洁净。
4)运行成本低
5)安全可靠
6)使用方便
7)使用寿命长
DZB系列低温泵产品主要规格:
IG系列是为高端真空装备配备的全自动智能性低温泵,具有如下特点:
1)具有快速再生功能
2)具有完全再生功能
3)自动检测低温泵真空度
4)内部加热及充氮气全自动再生系统
5)外置充氮气装置
6)配置可接尾气处理装置的安全阀
7)智能的“自适应”技术
- 自动低温热载荷补偿
- 变频电机系统
8)更低的购置成本
- 每台压缩机可支持更多的泵
- 在产能没有任何改变的情况下更节能
- 变速电机可最大程度地延长泵的使用寿命
9)可实现本地或远程操作
10) 配备操作手柄,可实现故障查询及修改参数
Xe15000型低温泵是专为航天环境模拟器抽Xe所配备的低温泵,其主要指标见PDF