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IG200低温泵

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IG200低温泵

产品描述

IG系列低温泵是带有快速再生和完全再生功能并能实现远程监控再生控制系统的全智能型低温泵。常规规格有：IG200,IG200F,IG200F-XP,IG250,IG250F,IG320,320F,IG400,IG500,IG550,IG1000,IG1250, IG1320,IG1600,IG1800等。

通用型参数参考DZB系列。

主要特点：

1）具有快速再生功能

2）具有完全再生功能

3）自动检测低温泵真空度

4）内部加热及充氮气全自动再生系统

5）外置充氮气装置

6）配置可接尾气处理装置的安全阀

7）智能的“自适应”技术

- 自动低温热载荷补偿

- 变频电机系统

8）更低的购置成本

- 每台压缩机可支持更多的泵

- 在产能没有任何改变的情况下更节能

- 变速电机可最大程度地延长泵的使用寿命

9）可实现本地或远程操作

10）配备操作手柄，可实现故障查询及修改参数

PVD专用系列低温泵参数

型号Model			IG200F-XP	IG200F	IG250F	IG320F
抽速 Pumping speed(L/s)	H₂O		4000	4000	6500	11000
	N₂		330	1500	2500	4000
	H₂		800	2200	3600	5000
	Ar		275	1200	1800	3000
抽气容量 Ar			1500	1000	2000	2800
Pumping capacity(std.L)		H₂	12	12	20	32
降温时间(Min)			90	90	110	120
完全再生时间(Min)			150	150	130	150
自动再生技术			有	有	有	有
变频技术			有	有	有	有

离子注入专用系列低温泵参数

型号Model		IG200FX	IG250FX	IG320FX
真空法兰		200	250	320
抽速 Pumping speed(L/s)	H₂O	4000	6500	11000
	空气	2200	2200	3600
	H₂	3500	7000	13000
	Ar	1150	1800	3000
抽气容量 H₂ Pumping capacity(std.		15	25	35
降温时间(Min)		90	110	120
完全再生时间(Min)		100	130	150
快速再生时间(Min)		50	90	75
自动再生技术		有	有	有
变频技术		有	有	有