- 产品描述
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1. 积聚式真空泵，工作时无需前级泵。
2. 需要再生。
3. 对不同的气体具有不同的抽速和抽气容量。
4. 支持Modbus协议。
型号Model
DZB1000
DZB1250
DZB1320
DZB1600 DZB1800
抽速
Pumping speed(L/s)
N₂
40,000
57,000
62,000
110,000
127,000
H₂
56,000
60,000
65,000
100,000
125,000
Ar
35,000
47,000
51,000
77,000
97,000
H₂O
110,000
180,000
195,000
290,000
365,000
极限真空度
Ultimate pressure(pa)
10-7
10-7
10-7
10-7
10-7
抽气容量
Pumping
capacity(Pa-L)
Ar
6.5×10⁸
1.4×10⁷
9×10
9.7×10⁸
1.5×10⁹
1.8×10⁹
H₂
1.5×10⁷
1.6×10⁷
2.5×10⁷
3.0×10⁷
降温时间
Cooldown time(min)
240
330
330
330
330
泵口法兰
Mounting flange
ISO-F
ISO-F
ISO-F
ISO-F
ISO-F
重量
Weight of cryopump(Kg)
290
380
420
1200
1600
匹配压缩机
Compressor unit
HC100W×2
HC100W×4
HC100W×5
HC100W×7
HC100W×9
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