- 产品描述
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1. 积聚式真空泵，工作时无需前级泵。
2. 需要再生。
3. 对不同的气体具有不同的抽速和抽气容量。
4. 支持Modbus协议。
型号 Model DZB630 DZB720 DZB750 DZB800 DZB900 抽速Pumping speed (L/s) N₂ 16,000 21,000 22,500 26,000 32,000 H₂ 30,000 39,000 42,000 46,000 48,000 Ar 14,500 19,000 20,500 23,500 28,000 H₂O 43,000 57,000 62,000 71,000 90,000 极限真空度Ultimate pressure (pa) 10⁻⁷ 10⁻⁷ 10⁻⁷ 10⁻⁷ 10⁻⁷ 最大通导Maximum throughput (Pa·L/s) Ar 2.6 × 10³ 2.6 × 10³ 2.6 × 10³ 2.7 × 10³ 2.8 × 10³ 抽气容量Pumping capacity(Pa·L) Ar 6.5×10⁸ 6.5×10⁸ 6.5×10⁸ 6.5×10⁸ 5×10⁸ H₂ 1.2 × 10⁷ 1.2 × 10⁷ 1.2 × 10⁷ 1.0×10⁷ 1.0×10⁷ 降温时间Cooldown time (min) 150 180 220 240 180 泵口法兰Mounting flange GB/ISO UVG UVG GB/ISO ISO-F 重量Weight of cryopump(Kg) 240 250 260 265 275 匹配压缩机Compressor unit HC100W×2 HC100W×2 HC100W×2 HC100W×2 HC100W×2
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