- 产品描述
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1. 积聚式真空泵，工作时无需前级泵。
2. 需要再生。
3. 对不同的气体具有不同的抽速和抽气容量。
4. 支持Modbus协议。
型号Model
DZB200
DZB250
DZB300
DZB400
DZB500
DZB550
抽速
Pumping speed(L/s)
N₂
1,700
2,700
2,500
4,000
6,000
10,000
15,000
H₂
3,600
5,000
12,000
16,000
25,000
Ar
1,400
2,000
3,500
5,000
8,400
14,000
H₂O
4,000
6,900
9,500
16,000
30,000
39,000
极限真空度
UItimate pressure(pa)
10⁷
10⁷
10⁷
10⁷
10⁷
10⁷
最大通导 Maximum
throughput (Pa ·L/s)
Ar
1.2×10³
1.2×10³
1.0×10³
1.4×10³
1.1×10³
4.1×10³
抽气容量
Pumping
capacity(Pa ·L)
Ar
H₂
1.0×10⁸
1.0×10⁸
2.1×10⁸
4.3×10⁸
5.8×10⁸
8.1×10⁸
1.0×10⁵
6.7×10⁵
1.0×10⁶
2.4×10⁶
4.6×10⁶
8.5×10⁶
降温时间
Cooldown time(min)
100
110
110
120
130
180
泵口法兰
Mounting flange
G
B、 ANSI、
ISO、 UVG
重量
Weight of cryopump(Kg)
33
37
48
75
86
98
匹配压缩机
Compressor unit
HC50W
HC50W
HC80W
HC100W
HC100W
HC100W
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